离子铣，也称为离子束刻蚀（IBE），是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。
鸿凯词语词典，专业汉语查询工具。收录海量成语、近义词、反义词及组词，解释详尽，例句丰富。每日更新，助力您的语言学习与创作。