离子束探针，以聚焦很细(1～2微米)的高能（10～20千电子伏）一次离子束作为激发源照射样品表面，使其溅射出二次离子并引入质量分析器，按照质量与电荷之比进行质谱分析的高灵敏度微区成分分析仪器，聚焦很细，为1～2微米。
鸿凯词语词典，专业汉语查询工具。收录海量成语、近义词、反义词及组词，解释详尽，例句丰富。每日更新，助力您的语言学习与创作。