温度较低、电压作用时间较短时，纯净、均匀固体电介质由绝缘状态突变为良导电状态的过程。本征击穿过程所需时间为10-8s数量级，本征击穿场强大于1MW/cm，反映了固体电介质本身固有的电气强度。
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